广州潽拓——{精}，分子泵
EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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广州潽拓——爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100 PUMP Overhaul
广州潽拓光电科技有限公司——提供Edwards爱德华ESD/GVSP/XDS/nXDS系列涡旋干泵，XDD/D-LAB系列隔膜泵/GXS系列干式螺杆真空泵，EPX/IPX/GV/GX/iF/iH/iL/iLs/Igx/iXH/iXL/iXS/pXH系列半导体干泵，EH/HV系列罗茨泵，Stokes 6系列机械增压泵，CDX/CXS系列化学干泵，GV系列爪式真空干泵的维修、保养服务。维修流程完善，长期备有原厂维修配件,为客户提供良好的服务！
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爱德华 BOC Edwards g1946-80002涡轮增压泵
爱德华 BOC G1946-80002 Agilent
爱德华BOC Edwards真空泵型号及参数
EDWARDS爱德华 EM 系列E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
EDWARDS爱德华RV 系列RV3, RV5, RV8, RV12
EDWARDS爱德华EH 系列 EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200
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